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关于我们

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上海凯世通半导体股份有限公司





        上海凯世通半导体股份有限公司,2009年4月在张江成立,由国际离子注入技术协会终身常务理事——陈炯博士为首的五位国际知名离子注入设备专家创立。该团队所开发的离子注入机全球销售逾千台,代表机型E220/E500,GSD,iStar,iPulsar。

        上海凯世通半导体股份公司是一家以离子束技术为核心的集科研、制造于一体的高科技企业,也是国内的全领域赛道离子注入机公司,主要研制、生产、再制造和销售国际领先高端离子注入机,重点应用于半导体集成电路领域、光伏太阳能电池和新型平板显示。在集成电路装备领域,离子注入机应用于掺杂这道工序,具有极高的技术门槛,被誉为皇冠上的明珠。

        上海凯世通公司围绕国际知名和国家特聘外籍专家,全面构建人才团队,专业涵盖了物理学、半导体技术、材料学、机械工程、自动控制、软件工程等多个技术领域,将长期致力于具有世界领先水平的重大技术装备—离子注入机的研发及产业化,实现代表中国自主创新的半导体装备可持续发展,不断推进中国制造向中国创造的完美转变。

离子注入

在半导体晶圆制造中,由于纯净硅的导电性能很差,需要加入少量杂质使其结构和电导率发生改变,从而变成一种有用的半导体,这个过程称为掺杂。目前掺杂主要有高温热扩散法和离子注入法两种,离子注入占据着主流地位。

离子注入法

通过离子注入机的加速和引导,将要掺杂的离子以离子束形式入射到材料中去,离子束与材料中的原子或分子发生一系列理化反应,入射离子逐渐损失能量,并引起材料表面成分、结构和性能发生变化,最后停留在材料中,实现对材料表面性能的优化或改变。离子注入具备精确控制能量和剂量、掺杂均匀性好、纯度高、低温掺杂、不受注射材料影响等优点,目前已经成为0.25um特征尺寸以下和大直径硅片制造的标准工艺。

开发难度

离子注入机与光刻机、刻蚀机和镀膜机并称四大核心装备,开发难度仅次于光刻机。

用途

按下游领域分类,目前离子注入机可用于众多领域,包括集成电路与IGBT制造领域、太阳能电池生产领域、AMOLED面板制造等。

管理团队

五位国际知名离子注入机专家,超过100年世界名企的工作经验,离子注入机行业成功的创业经验,价值观相同,专注于离子注入机,勤俭创业、全力以赴、以身作则。

发展历程

荣誉资质

发展历程×
时间节点 关键事件 具体内容或经营成果
2021年12月 高能离子注入机设备客户验证通过 凯世通的高能离子注入机设备顺利通过国内12英寸客户的验证并验收
2021年5月 低能大束流设备客户验证通过 凯世通首台低能大束流离子注入机通过国内12英寸主流集成电路芯片制造厂的设备验证并验收
2021年4月 集成电路业务展露锋芒 凯世通获2020年度上海市集成电路设备业销售前十名的荣誉
2020年12月 商业化进展重大突破 注入机的订单总额超过1亿元人民币
2020年9月 低能大束流设备客户验证 首台低能大束流设备送入国内主要芯片制造工厂
2020年10月 获得iStellar-500 SEMI认证证书 展现了自身接轨国际的的科研能力,为进一步实现技术突破和产品研发奠定了坚实的基础
2020年3月 荣获北京市科技进步一等奖 凯世通的“大束流离子注入机装备及工艺研发”项目荣获北京市科技进步一等奖
2020年9月 成功入选上海市“科技创新行动计划”项目 凯世通的“集成电路设备射频电源系统研发与验证”项目入选上海市2020年度“科技创新行动计划”
2020年8月 重大技术突破 凯世通的“大束流离子注入机装备及工艺研发”项目成功斩获2019年度北京市科学技术进步一等奖
2020年5月 北京凯世通半导体有限公司正式成立 “南北并举”的布局策略显现,为客户带来更加便捷、高效的服务
2019年12月 集成电路离子注入机迁机成功 IC离子注入机搬进杭州湾洁净室,进行晶圆验证
2019年10月 入选“科技创新行动计划” 凯世通 “高能离子注入机关键技术研究与样机验证”项目被上海市科委技术委员会列入集成电路领域立项项目清单
2019年8月 新产品iPV6000发布 凯世通自主研发的新品iPV-6000成功推出,进一步提升其在光伏市场的竞争力
2018年8月 凯时国际app登录下载收购凯世通 成为凯时国际app登录下载全资子公司(证券代码:600641)
2017年7月 新品iPV-3000发布 凯世通自主研发的新品iPV-3000成功推出。
2017年3月 凯世通股票挂牌成功 2017年3月24日起,凯世通股票在全国股转系统挂牌公开转让。
2016年12月 iPV-2000量产 与泰州中来光电科技有限公司签订了设备批量采购协议,真正实现了从研发型企业到生产型高科技企业的成功转型。
2013年2月 获批上海市战略性新兴产业重大项目 由上海市发改委和市科委推荐正式进入自主知识产权的AMOLED离子注入机研发。
2012年12月 IonSolar™离子注入机在电池生产线得以认可 基于凯世通的离子注入机及相应的电池制作工艺实现330W电池组件输出功率代表了行业此类电池的的最高水平。
2012年8月 IonSolar™太阳能离子注入机进入客户端 凯世通自主研发的太阳能离子注入机IonSolar™进入客户端产线,进行工艺认证。
2012年1月 获批市科委成果转化和产业化项目 作为主承担单位获批上海市科委成果转化和产业化项目,旨在高效晶硅太阳电池用离子注入系统产业化技术开发及应用。
2011年12月 新产品研发成功 具有世界领先水平的太阳能制程用高端离子注入机研发成功。
2011年3月 获批国家重大科技专项 与电子科技集团48所合作,申请并获准国家重大专项立项,研发用于集成电路离子注入机的世界先进大束流束线系统。
2011年1月 战略伙伴增资 获得美国Amtech公司增资 1亿元人民币,进入太阳能电池制程用离子注入机领域。
2010年6月 盈亏平衡 凯世通盈亏平衡。
2009年10月 战略合作 与Axcelis战略合作(世界排名第二离子注入机厂商)研发OHD低能束流的改进。
2009年4月 凯世通创立 由六位世界一流离子注入设备专家创立,共有超过100年研发制造与应用企业的工作经验。
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